上海AI实验室破解光刻胶制备技术瓶颈，打破芯片领域“技术黑箱”

发布时间：2026-05-12 13:01:11 | 责任编辑：张毅 | 浏览量：27 次

上海人工智能实验室近日联合多家科研单位，利用“书生”科学大模型与自动化研发平台，成功攻克了高端KrF光刻胶树脂的稳定制备难题。这一进展标志着我国在芯片核心材料领域取得了重大突破，相关产品的产业关键指标均已达到预期。
光刻胶树脂的研制长期以来依赖人工经验，研发人员需在数以千计的配比和反应条件中反复试错。这种传统的研发模式不仅效率低下，且极易受到操作误差影响，难以保证量产芯片所需的高度稳定性。
AI驱动闭环研发
科研团队通过构建“AI决策+自动化合成”的闭环体系，实现了从实验方案生成到自动化后处理的全流程运行。该平台采用精密控制技术，将成品树脂的金属杂质含量稳定控制在极低水平，显著提升了材料的纯度与一致性。
借助AI模型的自我进化能力，研发团队成功实现了从“经验主导”向“数据驱动”的研发转型。实验产生的关键数据会自动回传至大模型，驱动算法持续优化下一轮方案，从而大幅缩短了高端材料的开发周期。
摆脱海外供应依赖
此次技术突破使得高端光刻胶树脂的制备不再依赖少数国外供应商的“黑箱能力”，为全球芯片材料研发探索出一条标准化路径。目前，相关成果已进入客户端验证阶段，为提升我国半导体产业链的自主性奠定了坚实基础。
这一科研成果展示了人工智能在底层科学发现中的巨大潜力，也预示着AI原生工作流将深度重构材料科学领域。未来，这种高度模块化的智能化合成平台，将持续推动更多核心半导体材料实现技术突围。